虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。

　　真空检漏中，检漏仪器的灵敏度与检漏灵敏度(也就是检漏过程中可实现的灵敏度)是不一样的。检漏仪器的灵敏度性能参数都是在特定的优化条件下呈现的，而实际使用中受到现场条件的影响，检漏灵敏度一般情况下很难达到最优的灵敏度。因此，选择时要关注的是检漏仪器在检漏过程中能达到什么样的灵敏度。

　　检漏仪接在高真空一侧时：检漏灵敏度的变化，检漏仪接在高真空一侧通过对检漏仪的调节，能使其在高真空侧和前级侧时对氦气的抽速6X 保持一致。系统参数一般不变。可看出的高低取决于6和6% 的大小在分流状态。有6%在次级泵起动进入稳定状态后，一般可将前级泵处节流阀关闭。即由此可知，此时相同条件下次级泵处阀门却不能完全断开，即比较在需对大容器抽高真空并要求检漏时，检漏仪接在前级侧时的系统检漏灵敏度高于接在高真空侧的检漏灵敏度。

　　当然，使用条件相同时，灵敏度高的检漏仪器，在检漏过程中也能达到较高的检漏灵敏度。而且灵敏度高的检漏仪器与检漏方法，也能更可靠地检出漏洞。但相应地，检漏过程中要提高检漏仪器与检漏方法的灵敏度，就需要付出更多的设备与运转费用。

　　真空检漏中，寻找漏孔的基本方法有两种:喷吹法与吸嘴法，也叫内探头法与外探头法。

　　喷吹法检漏速率比较快，适用于可以被抽真空的系统和零部件的检漏;吸嘴法在大干大气压的压力环境进行检漏，压差高，可以检测更小的漏孔，适用干被检件无法抽真空、放气量很大、是长管道等情况。

　　真空检漏中的漏率测量可以在加压条件或者真空条件下的测定，另外还有密封件的无损检漏，都有多种设备与方法可以进行测量，可以根据实际情况进行针对性的选择。

　　这点在选择检漏方法以及示漏物质的时候需要注意，检漏方法是否会对器件造成形变损坏，示漏物质是否会对人员造成威胁，如易燃、易爆，致人中毒、窒息等，必要时采取相应地安全措施。

　　真空检漏已成为真空系统生产和使用中不可缺少的环节，真空检漏方法多样，最具代表性的氦质谱检漏和四极质谱仪残留气体分析。其中氦质谱检漏是最适合真空技术的检漏方法。

　　安徽博为光电科技有限公司氦质谱检漏仪，可以满足各行业不同的需求并提供不同的检测方法, 从氦质谱检漏仪到检漏模块, 又可单机检漏，满足各种应用行业。返回搜狐，查看更多

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